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便捷的操作環境: 可直接利用空氣作為反應氣體,無需額外配置特殊氣體鋼瓶,設置與操作極為簡便。
等向性電漿處理: 採用桶式結構設計,確保電漿在腔體內均勻分布,實現等向性(Isotropic)的全面處理。
低損傷「軟」電漿: 使用較低頻率的波長產生「柔和」的電漿,能有效降低對樣本的損傷,極為適合生化領域等敏感樣本。
優異的作業環境: 無噪音、無振動且不會產生有害氣體,且無需額外的公用工程(Utility)支持。
廣泛的應用領域:
生化研究: 玻璃基板上的有機膜處理、PDMS 晶片與玻璃/PDMS 板的黏合。
精密清洗: 玻璃儀器的殺菌清洗、自然氧化膜的去除。
顯微分析預處理: TEM、SEM、FIB 試片及樣品座(Sample Holder)的清潔。
測試與評估: 分析儀器傳感器探頭處理、塗膜的劣化與加速度試驗。